Máy phát oxy cho chất bán dẫn

Máy phát oxy cho chất bán dẫn
Giơi thiệu sản phẩm:
Mở rộng linh hoạt:Hỗ trợ hoạt động độc lập đơn vị hoặc kết nối song song đa đơn vị để đáp ứng nhu cầu oxy từ các phòng thí nghiệm quy mô nhỏ đến các ngành công nghiệp quy mô lớn.
Phản hồi nhanh:Thời gian chuyển đổi của tháp hấp phụ được tối ưu hóa thành giây để đảm bảo lưu lượng oxy ổn định.
Chi phí bảo trì thấp:Các vật liệu chống ăn mòn và hệ thống tự làm sạch được sử dụng để giảm tần suất bảo trì thời gian chết.
Tiết kiệm năng lượng và hiệu quả cao:Tiêu thụ năng lượng thấp hơn 30% so với các quy trình truyền thống: mức tiêu thụ năng lượng được tối ưu hóa thông qua công nghệ phục hồi cân bằng áp lực và hệ thống kiểm soát thông minh.
Hoạt động liên tục 24/7:Hỗ trợ hoạt động hoàn toàn tự động mà không cần can thiệp thủ công.
Gửi yêu cầu
Mô tả
Thông số kỹ thuật
25+Nhiều năm kinh nghiệm
trong dịch vụ một cửa

Khí Newtek trình bày một hệ thống phát sinh oxy PSA (áp suất thay đổi áp suất) tiên tiến được thiết kế đặc biệt cho môi trường sản xuất chất bán dẫn. Giải pháp mô-đun này cung cấp oxy có độ tinh khiết cực cao 99,5% với tốc độ dòng chảy từ 5-3000 nm³/h, có khả năng tích hợp thông minh cho các hoạt động phòng sạch.

Oxygen Generator for Semiconductor
 
15K
Hoàn thành các dự án
1280+
Nhân viên chuyên nghiệp
15K
Khách hàng
100%
Phản hồi tích cực từ hợp tác
Oxygen Generator for Semiconductor
 
Ưu điểm kỹ thuật cốt lõi
 

Dual-column 13X molecular sieve system achieves >99,999% độ tinh khiết
± 0. Sự ổn định nồng độ 5% thông qua phân tích khí laser thời gian thực

0.

  • Tiêu thụ điện năng thấp hơn 30% so với các hệ thống thông thường
  • Hệ thống thu hồi nhiệt làm giảm tải nhiệt trong môi trường fab
  • <65dB(A) noise level with acoustic enclosure option

 

Thiết kế gắn trên Skid có thể mở rộng hỗ trợ 20% -200% mở rộng công suất

Đơn vị nén khí (công nghệ cuộn không dầu)

Tháp thanh lọc (loại bỏ độ ẩm TSA tự động)

Nội các điều khiển thông minh (PLC+HMI với giao thức SECS/GEM)

Ứng dụng quy trình bán dẫn

 

Oxy hóa nhiệt
Độ chính xác o₂ Cung cấp cho sự tăng trưởng oxit cổng (2-200 Điều khiển độ dày)
Khắc khô
Cung cấp khí ổn định plasma cho việc tạo mẫu nano
✔ thanh lọc buồng CVD
Oxy siêu khô để phòng ngừa ô nhiễm hạt
✔ wafer ủ
Kiểm soát bầu không khí tinh khiết cao để kích hoạt dopant

 

Oxygen Generator for Semiconductor

Hệ thống giám sát thông minh

 

Giám sát tạp chất thời gian thực (Phát hiện cấp độ PPB)
Bảo trì dự đoán với thuật toán AI (độ chính xác 98%)
Chẩn đoán từ xa thông qua nền tảng IIoT (OPC UA/MTConnect)

Semi f 5-0202 tiêu chuẩn khí phòng sạch

Chứng nhận an toàn điện CE/UL/ETL

ISO 14644-1 Khả năng tương thích phòng sạch lớp 3

Chúng tôi cung cấp

 

Mạng kỹ thuật toàn cầu:Hỗ trợ đa ngôn ngữ 24/7 với<4hr response time
Chương trình tối ưu hóa trọn đời:Kiểm toán hiệu quả hàng năm và dịch vụ thay thế sàng phân tử (1- bảo hành năm)
Giải pháp tùy chỉnh:Tích hợp phù hợp với các hệ thống AMHS/MMC
và thiết kế hệ thống phục hồi khí

 

 

Liên hệ với các chuyên gia khí bán dẫn của chúng tôi

 

📞 + 8615336587300
📧 sales@newtekgas.com
Www.newtekgas.com

 

 

 

 

 

Chú phổ biến: Máy phát oxy cho chất bán dẫn, máy phát oxy Trung Quốc cho các nhà sản xuất chất bán dẫn, nhà cung cấp

Gửi yêu cầu
Sẵn sàng để xem các giải pháp của chúng tôi?
Nhanh chóng cung cấp giải pháp khí PSA tốt nhất

Nhà máy oxy PSA

● Khả năng O2 cần thiết là bao nhiêu?
● Độ tinh khiết của O2 là gì? Tiêu chuẩn là 93%+-3%
● Áp suất xả O2 cần thiết là gì?
● Votalge và tần số trong cả 1Phase và 3Phase là gì?
● Trang web làm việc Temperature trung bình là gì?
● Độ ẩm cục bộ là gì?

Nhà máy nitơ PSA

● Công suất N2 cần thiết là gì?
● Độ tinh khiết của N2 là gì?
● Áp suất xả N2 cần thiết là gì?
● Votalge và tần số trong cả 1Phase và 3Phase là gì?
● Trang web làm việc Temperature trung bình là gì?
● Độ ẩm cục bộ là gì?

Gửi yêu cầu