trong dịch vụ một cửa
Khí Newtek trình bày một hệ thống phát sinh oxy PSA (áp suất thay đổi áp suất) tiên tiến được thiết kế đặc biệt cho môi trường sản xuất chất bán dẫn. Giải pháp mô-đun này cung cấp oxy có độ tinh khiết cực cao 99,5% với tốc độ dòng chảy từ 5-3000 nm³/h, có khả năng tích hợp thông minh cho các hoạt động phòng sạch.


Ưu điểm kỹ thuật cốt lõi
Dual-column 13X molecular sieve system achieves >99,999% độ tinh khiết
± 0. Sự ổn định nồng độ 5% thông qua phân tích khí laser thời gian thực
0.
- Tiêu thụ điện năng thấp hơn 30% so với các hệ thống thông thường
- Hệ thống thu hồi nhiệt làm giảm tải nhiệt trong môi trường fab
- <65dB(A) noise level with acoustic enclosure option
Thiết kế gắn trên Skid có thể mở rộng hỗ trợ 20% -200% mở rộng công suất
Đơn vị nén khí (công nghệ cuộn không dầu)
Tháp thanh lọc (loại bỏ độ ẩm TSA tự động)
Nội các điều khiển thông minh (PLC+HMI với giao thức SECS/GEM)
Ứng dụng quy trình bán dẫn
Oxy hóa nhiệt
Độ chính xác o₂ Cung cấp cho sự tăng trưởng oxit cổng (2-200 Điều khiển độ dày)
Khắc khô
Cung cấp khí ổn định plasma cho việc tạo mẫu nano
✔ thanh lọc buồng CVD
Oxy siêu khô để phòng ngừa ô nhiễm hạt
✔ wafer ủ
Kiểm soát bầu không khí tinh khiết cao để kích hoạt dopant

Hệ thống giám sát thông minh
Giám sát tạp chất thời gian thực (Phát hiện cấp độ PPB)
Bảo trì dự đoán với thuật toán AI (độ chính xác 98%)
Chẩn đoán từ xa thông qua nền tảng IIoT (OPC UA/MTConnect)
Semi f 5-0202 tiêu chuẩn khí phòng sạch
Chứng nhận an toàn điện CE/UL/ETL
ISO 14644-1 Khả năng tương thích phòng sạch lớp 3
Chúng tôi cung cấp
▲ Mạng kỹ thuật toàn cầu:Hỗ trợ đa ngôn ngữ 24/7 với<4hr response time
▲ Chương trình tối ưu hóa trọn đời:Kiểm toán hiệu quả hàng năm và dịch vụ thay thế sàng phân tử (1- bảo hành năm)
▲Giải pháp tùy chỉnh:Tích hợp phù hợp với các hệ thống AMHS/MMC
và thiết kế hệ thống phục hồi khí
Liên hệ với các chuyên gia khí bán dẫn của chúng tôi
📞 + 8615336587300
📧 sales@newtekgas.com
Www.newtekgas.com
Chú phổ biến: Máy phát oxy cho chất bán dẫn, máy phát oxy Trung Quốc cho các nhà sản xuất chất bán dẫn, nhà cung cấp

